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恒温防震气垫车车队护送大型扫描光刻机

2019-2-18 14:07:19      点击:
  波音747—400F大型国际货运包机由荷兰飞抵武汉天河国际机场,运来了一套价值数亿元、特别娇贵的宝贝大型扫描光刻机。

     武汉边检部门介绍,这是武汉新芯集成电路制造有限公司引进的最新核心生产设备,用于扩产其12英寸集成电路生产线。大型扫描光刻机重达36吨,体积超过160立方米。光刻机虽然庞大,但特别娇贵它用于集成电路生产超微细加工,其光学投影镜头及精密工作台对震动及温度的变化都有非常严格的要求,专用集装箱自带空调系统,保证恒温恒湿。

     这台大型扫描光刻机将享受超贵宾级全程护送待遇,由恒温防震气垫车车队及精密移位团队以每小时50公里匀速运至厂房。